首頁 ﹥ 商品介紹 > 系統規劃 > E84無人搬運安全監控 09 E84無人搬運安全監控 因應無人搬運系統的需求,依據SEMI Standard的E84規範,確保搬運過程產品的安全性。 設備的Load Port端加裝E84 Controller判斷Load Port狀態,並透過E84 Sensor與搬運設備(如:OHT、AGV、RGV)交握,以確保上、下貨的安全性。 851248 上一個 回列表 下一個