SECS GEM / SECS driver
SECS GEM
SECS是SEMI為半導體機台制定的通訊標準，為「SEMI設備通訊標準 (SEMI Equipment Communications Standard)」。
GEM依SEMI E30，為「製造設備之通訊及控制的泛用模型(Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment )」。
SECS GEM用來收集機台資訊、監控製程、異常分析…等，這些資訊可做數據分析與應用，達到智慧與自動化的生產管理。
鉮倫系統所開發SECS Driver符合SEMI E4，E5，E30，E37規範。
- 支援Windows / Linux雙系統
- 支援SECS I / HSMS 通訊協定
- 針對軟體專案客製開發